nXDS10i愛德華渦旋泵維修

nXDS10i愛德華渦旋泵維修

Edwards XDS 和 nXDS 系列干式渦旋泵
Edwards 干式渦旋泵為各種應用提供成熟的干式清潔真空解決方案。

當需要無油抽空時，渦旋泵是旋片泵的替代品。

Edwards XDS35i 干式渦旋泵
Edwards XDS35i 干式渦旋泵

XDS 干式渦旋泵
在干泵真空領域，XDS 干式渦旋泵已成為行業標準，在廣泛的應用中被證明是一種堅固耐用且清潔的真

空泵解決方案。

現在，結合雙啟動渦旋形式技術和旁通閥，Edwards 得以提供 XDS35i 增強型系列泵，以補充我

們原有的產品線。

Edwards nXDS15i 干式渦旋泵
Edwards nXDS15i 干式渦旋泵

nXDS 干式渦旋泵
nXDS是我們新一代的渦旋泵，與其他泵相比，具有更高的抽取速度、更低的極限壓力、更低的功耗和

更低的噪聲級。

nXDS 泵的設計力求實現*現場維修。其智能控制功能和長達五年的維修間隔可降低擁有成本，使其

成為當今技術先進的小型干泵。

軸承護罩
確保制程氣體和軸承潤滑分離，以保證清潔真空并使潤滑不被制程氣體污染，從而延長軸承使用壽命。

智能電機驅動
意味著全程穩定的性能、泵過載保護和遠程啟動/停止功能。

高流速氣囊功能
允許泵送蒸汽，包括高達 240 gh-1 的水蒸汽

簡便的單側渦旋設計
可在數分鐘內完成維護，以降低擁有成本并程度延長正常運行時間。

更進一步
增強型在初始抽空期間可減少多達 20％ 的峰值電力需求，這意味著它能夠在不損失性能的情況下抽空

大容量腔室，且在該粗抽壓力下抽取速度可提高達 25％，這也有助于提高應用循環頻率。

nXDS 干式渦旋泵

改善工作環境，降低環境影響
運行安靜

操作簡單
控制裝置智能且易于使用

無污染、無油
全密封、免潤滑的真空環境

低使用成本
服務間隔長，功耗低

更快的制程
蒸汽處理

nXDS10i愛德華渦旋泵維修